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無塵室污染源運轉管理維護保養(yǎng)

日期：2025-04-30 15:01

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摘要：

無塵室污染源運轉管理維護保養(yǎng)

一、污染源控制

　　無塵室潔凈度之維持和控制，除了硬設備之配合投資外，也需要良好的軟件&mdash&mdash管理制度來搭配，方能維持良好的潔凈度。無塵室內(nèi)之微污染來源，經(jīng)測試分析結果，作業(yè)人員占約80%，如圖1所示。實驗數(shù)據(jù)顯示，作業(yè)人員進出無塵室時塵埃有顯著增加，有人動作時，潔凈度馬上劣化，可見潔凈度劣化之原因人是主要因素。

　　無塵室的污染源可分為外污染及內(nèi)污染源。外污染源主要包括空調(diào)送風、間隙滲入、建筑物、工作服、風管材料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內(nèi)污染源則包括制程設備、工作人員、工具、加工制程、隔間材料、工作桌、包裝材料等，圖2為微塵粒子的傳送路徑。

　　對硅芯片而言，微塵粒子之附著將造成集成電路線路的變形或短路，使芯片失去運作功能，因此微污染源的控制已成為無塵室管理的重要環(huán)節(jié)。表一為自然環(huán)境所測得的塵埃濃度，可為設計參考，而在微污染控制，其基本原則有四：

　　1.外部塵埃侵入之防止：

　　無塵室適當之正壓保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設備、原材料搬入無塵室前先做好清潔擦拭等防塵動作，空氣過濾器適當?shù)墓芾砗驮O置。

　　2.室內(nèi)發(fā)塵之防止：

　　隔間板、地板等無塵室材料的適當選用、制程設備的發(fā)塵抑制、生產(chǎn)自動化及人員不聚集、動作放松、潔凈衣的管理、使用無塵室專用器等。

　　3.室內(nèi)發(fā)塵之不積留：

　　墻壁體應光滑無死角、無塵室需定期保養(yǎng)和清掃、制程設備四周應留有空間。

　　4.發(fā)生塵埃之排除：

　　換氣次數(shù)應足夠，適當?shù)目臻g布置以及污染源接排氣和空調(diào)的氣流速度須適當。

　　人、物入室的管理問題、實際的作業(yè)條件和工程管理關聯(lián)之問題、室內(nèi)之空調(diào)及清掃關系之問題，這些問題將于下節(jié)祥述。
無塵室污染源運轉管理維護保養(yǎng)

測量地點	微塵粒子數(shù)（個/ft3）&ge0.5μm
大氣層圈	≦100
田園地區(qū)（微風狀態(tài)）	100，000~300，000
住宅地區(qū)	100，000~200，000
辦公室（工作中）	200，000~400，000
工業(yè)區(qū)	400，000~1，000，000
正在吸煙的會議室	600，000~1，000，000

測量地點	微塵粒子數(shù)（個/ft3）&ge0.5μm
大氣層圈	≦100
田園地區(qū)（微風狀態(tài)）	100，000~300，000
住宅地區(qū)	100，000~200，000
辦公室（工作中）	200，000~400，000
工業(yè)區(qū)	400，000~1，000，000
正在吸煙的會議室	600，000~1，000，000

二、無塵室運轉管理

　　無塵室運轉管理，可依作業(yè)人員、原物料、設備及無塵室內(nèi)所用東西等加以探討，并依計劃（planning）、實施（Doing）、追蹤（Checking）、動作(Action)之PDCA循環(huán)步驟執(zhí)行。

1.作業(yè)人員之管理

　　前以提及在無塵室內(nèi)污染來源80%來自作業(yè)人員,因此若能使作業(yè)人員依無塵室管理，而所有人員也均能配合實施，則污染源的產(chǎn)生可說已減大半。現(xiàn)就進入無塵室的作業(yè)人員之管理和注意事項說明如下：

　　（1）進入無塵室之人員，必須要具備有達成高潔凈度標準，并要維持*好狀態(tài)之觀念。

　　（2）作業(yè)人員進入無塵室數(shù)目以維持*小限度原則（愈少愈好），并須依無塵室進出標準流程進出無塵室，出則相反方向進行，唯不須經(jīng)空氣洗塵室之脫塵處理。

　　（3）對作業(yè)人員必須經(jīng)常講解無塵室管理之數(shù)據(jù)，并加以教育與訓練，內(nèi)容如無塵室管理之一般常識、無塵室之構造與功能、維護和清潔、**對策、搬運器材之潔凈管理與檢查、潔凈衣之穿脫、無塵室內(nèi)之步行方式等，并經(jīng)考試合格者方能進入無塵室工作。

　　（4）在無塵室作業(yè)人員須經(jīng)常保持自己各方面的干凈與清潔。

　　（5）在無塵室內(nèi)之作業(yè)人員或其它人員之移動或動作均為發(fā)塵源，其直接影響制程，同時亦會影響氣流之擾動，為防止與控制上述情形，基本上須注下列事項：

　　a.不可在作業(yè)區(qū)域氣流之上方放置物品或做其它作業(yè)。

　　b.不必要之動作盡量避免以防止亂流發(fā)塵。

　　c.與作業(yè)無關的私心談話盡量避免。

　　d.為控制發(fā)塵量，人員步行及作業(yè)要靜靜地進行。表2所示為人體在不同動作時之發(fā)塵量。

　　e.作業(yè)要在潔凈之工作柜或工作桌進行。

　　f.工具等器具須收入有蓋子之箱子或柜中，并置放一定的場所。

　　（6）作業(yè)人員須經(jīng)常保持干凈之手，除了常洗手、剪指甲外，手并應保養(yǎng)，以防皮膚之剝離，男性須每天刮胡子。

　　（7）潔凈衣要經(jīng)常保持著衣之狀態(tài)。

　　（8）下列所述者不能進入無塵室：

　　a.非作業(yè)人員或事先未得許可者。

　　b.未照規(guī)定穿著潔凈衣者。

　　c.剛做激烈運動流汗者。

　　d.吸煙或吃東西后，尚未經(jīng)過半小時以上者。很明顯可看出吸煙者所生之微塵在初期約為非吸煙者的90倍，直至30分鐘后才降至15倍，此為為何無塵室禁止吸煙人員和吸煙未滿30分鐘不準進入的原因所在。故針對在無塵室作業(yè)人員之招募，若能選擇不吸煙者為對象，將可帶來甚大利益。

	&ge0.3μm			&ge0.5μm
	一般工作服	無塵服		普通作業(yè)服	無塵服
	一般工作服	白衣形	全覆形	普通作業(yè)服	白衣形	全覆形
站立（靜姿）	543，000	151，000	13，800	339，000	113，000	5，580
坐下（靜姿）	44，800	142，000	14，800	302，000	112，000	7，420
腕上下	4，450，000	463，000	49，000	2，980，000	298，000	18，600
上身前屈	3，920，000	770，000	39，200	2，240，000	538，000	24，200
腕的自由運動	3，470，000	572，000	52，100	2，240，000	298，000	20，600
頭的上下運動	1，230，000	187，000	22，100	631，000	151，000	11，000
屈身	4，160，000	1，110，000	62，500	3，120，000	605，000	37，400
踏步	4，240，000	1，210，000	92，100	2，800，000	861，000	44，600
步行	5，360，000	1，290，000	157，000	2，920，000	1，010，000	56，000

　　（9）有下列健康狀態(tài)或體質(zhì)者原則上不能進入無塵室：

　　a.因日曬、濕診而皮膚有問題者。

　　b.化學纖維或有機溶劑等化學藥品有過敏性體質(zhì)者。

　　c.容易出受汗者。

　　d.比一般人皮膚表皮容易剝離、頭皮或體毛容易掉落者。

　　e.化妝或涂口紅者。

　　f.有重大精神病、神經(jīng)過敏或閉瑣恐懼者。

　　g.因**、咳嗽或噴嚏者及不能安靜工作者。

　　但對于有下列性格的人，則*適宜進入無塵室工作：

　　a.做事細心有耐性者。

　　b.勤于整理整頓，經(jīng)常自己注意身邊清潔的人。

　　c.經(jīng)常留意自己之健康者。

　　10.以下之物品不能帶進無塵室：

　　a)沒有經(jīng)過清潔過程之器材、零件物品、測定器等各種物品。

　　b)紙箱及未經(jīng)特別處理之記錄或筆記用紙、影印數(shù)據(jù)等。

　　c)鉛筆、橡皮擦、墨水等。

　　d)香煙、化妝品、衛(wèi)生紙、飲食品等。

　　e)作業(yè)員個人用品如打火機、寶石、裝飾品、錢包、鑰匙、手帕、小日記手冊或其它個人物品等。

　　無塵室潔凈度維持之*大控制對象為作業(yè)人員，因此對于作業(yè)人員之數(shù)目、行動狀態(tài)、進出規(guī)則之制定與執(zhí)行，提高無塵室內(nèi)作業(yè)人之潔凈度意識、反復教育，均為必須，表3所示為因作業(yè)人員之動作而產(chǎn)生污染的增加倍率。

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